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當前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 掃描電子顯微鏡 > 掃描電鏡SEM > SEM5000Pro國儀量子場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
簡(jiǎn)要描述：國儀量子場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000Pro是一款分辨率高、功能豐富的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。先進(jìn)的鏡筒設計，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無(wú)漏磁物鏡設計，實(shí)現了低電壓高分辨率成像，同時(shí)磁性樣品可適用。光學(xué)導航、完善的自動(dòng)功能、精心設計的人機交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無(wú)論經(jīng)驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)。
產(chǎn)品型號：SEM5000Pro廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2026-01-05訪(fǎng) 問(wèn) 量：93626
產(chǎn)品分類(lèi)
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ARTICLES詳細介紹
國儀量子場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000Pro
產(chǎn)品介紹
SEM5000Pro是一款分辨率高、功能豐富的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。
先進(jìn)的鏡筒設計，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無(wú)漏磁物鏡設計，實(shí)現了低電壓高分辨率成像，同時(shí)磁性樣品可適用。光學(xué)導航、完善的自動(dòng)功能、精心設計的人機交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無(wú)論經(jīng)驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)。
電子槍類(lèi)型 高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
加速電壓 20 V ~ 30 kV
分辨率 0.8 nm @ 15 kV 1.2 nm @ 1 kV
樣品臺 五軸全自動(dòng)樣品臺
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡產(chǎn)品特點(diǎn)
分辨率高，低加速電壓下實(shí)現高分辨成像
高壓隧道技術(shù) (SuperTunnel), 在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應，低電壓分辨率得到保證
電子光路無(wú)交叉，有效的降低系統像差，提升分辨能力
電磁復合物鏡，減小像差，顯著(zhù)提高低電壓下的分辨率，而且可觀(guān)察磁性樣品
水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重復性
磁偏轉六孔可調光闌，自動(dòng)切換光闌孔，無(wú)需機械調節，實(shí)現高分辨率觀(guān)察或大束流分析模式快速切換
應用領(lǐng)域
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡規格參數
| 關(guān)鍵參數 | 分辨率 | 0.8 nm @15 kV,SE 1.2 nm @1.0 kV,SE |
| 加速電壓 | 20V~30 kV | |
| 放大倍率 | 1~2,500,000x | |
| 電子槍類(lèi)型 | 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 | |
| 樣品室 | 真空系統 | 全自動(dòng)控制 |
| 攝像頭 | 雙攝像頭 (光學(xué)導航+樣品倉內監控) | |
| 樣品臺行程 | X=110mm,Y=110 mm,Z=50 mm T:-10°~+70°,R:360° | |
| 探測器 和擴展 | 標配 | 鏡筒內電子探測器 旁側二次電子探測器(ETD) |
| 選配 | 插入式背散射電子探測器(BSED) 插入式掃描透射探測器(STEM) 能譜儀(EDS) 背散射衍射(EBSD) 樣品交換倉 軌跡球&旋鈕控制板 | |
| 軟件 | 語(yǔ)言 | 中文 |
| 操作系統 | Windows | |
| 導航 | 光學(xué)導航、手勢快捷導航 | |
| 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)亮度對比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 |
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